材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
12期
74-77
,共4页
赵志明%丁宇%曹智睿%田亚萍%屈直%张国君%蒋百灵
趙誌明%丁宇%曹智睿%田亞萍%屈直%張國君%蔣百靈
조지명%정우%조지예%전아평%굴직%장국군%장백령
Mo薄膜%磁控溅射%XRD%SEM
Mo薄膜%磁控濺射%XRD%SEM
Mo박막%자공천사%XRD%SEM
利用磁控溅射技术在Sode-lime玻璃衬底上沉积CIGS薄膜太阳能电池用金属Mo背电极薄膜,并研究了Mo靶功率、基片脉冲宽度以及预清洗时间对Mo薄膜的相结构、形貌及电阻率的影响.结果表明,沉积的Mo薄膜均沿(110)晶面呈柱状择优生长;增大Mo靶溅射功率可以促进薄膜晶粒长大、提高薄膜的致密性、降低电阻率;合适的基片脉冲电压脉宽促进了晶核的形成、长大并有助于沉积过程中Mo晶粒长大,进而降低薄膜电阻率;通过延长预清洗时间可获得致密性好、电阻率低的Mo薄膜,所获得的Mo薄膜最低电阻率为3.5×10-5Ω·cm.
利用磁控濺射技術在Sode-lime玻璃襯底上沉積CIGS薄膜太暘能電池用金屬Mo揹電極薄膜,併研究瞭Mo靶功率、基片脈遲寬度以及預清洗時間對Mo薄膜的相結構、形貌及電阻率的影響.結果錶明,沉積的Mo薄膜均沿(110)晶麵呈柱狀擇優生長;增大Mo靶濺射功率可以促進薄膜晶粒長大、提高薄膜的緻密性、降低電阻率;閤適的基片脈遲電壓脈寬促進瞭晶覈的形成、長大併有助于沉積過程中Mo晶粒長大,進而降低薄膜電阻率;通過延長預清洗時間可穫得緻密性好、電阻率低的Mo薄膜,所穫得的Mo薄膜最低電阻率為3.5×10-5Ω·cm.
이용자공천사기술재Sode-lime파리츤저상침적CIGS박막태양능전지용금속Mo배전겁박막,병연구료Mo파공솔、기편맥충관도이급예청세시간대Mo박막적상결구、형모급전조솔적영향.결과표명,침적적Mo박막균연(110)정면정주상택우생장;증대Mo파천사공솔가이촉진박막정립장대、제고박막적치밀성、강저전조솔;합괄적기편맥충전압맥관촉진료정핵적형성、장대병유조우침적과정중Mo정립장대,진이강저박막전조솔;통과연장예청세시간가획득치밀성호、전조솔저적Mo박막,소획득적Mo박막최저전조솔위3.5×10-5Ω·cm.
