CIGS薄膜太阳能电池用Mo背电极的制备与结构性能研究
CIGS박막태양능전지용Mo배전겁적제비여결구성능연구
Study of Structure and Properties of Mo Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
  • 万方数据
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    MATERIALS REVIEW
    2011年 12期 74-77 ,共4页

    赵志明%丁宇%曹智睿%田亚萍%屈直%张国君%蒋百灵

    조지명%정우%조지예%전아평%굴직%장국군%장백령

    Mo薄膜%磁控溅射%XRD%SEM Mo薄膜%磁控濺射%XRD%SEM
    Mo박막%자공천사%XRD%SEM
    利用磁控溅射技术在Sode-lime玻璃衬底上沉积CIGS薄膜太阳能电池用金属Mo背电极薄膜,并研究了Mo靶功率、基片脉冲宽度以及预清洗时间对Mo薄膜的相结构、形貌及电阻率的影响.结果表明,沉积的Mo薄膜均沿(110)晶面呈柱状择优生长;增大Mo靶溅射功率可以促进薄膜晶粒长大、提高薄膜的致密性、降低电阻率;合适的基片脉冲电压脉宽促进了晶核的形成、长大并有助于沉积过程中Mo晶粒长大,进而降低薄膜电阻率;通过延长预清洗时间可获得致密性好、电阻率低的Mo薄膜,所获得的Mo薄膜最低电阻率为3.5×10-5Ω·cm.
    이용자공천사기술재Sode-lime파리츤저상침적CIGS박막태양능전지용금속Mo배전겁박막,병연구료Mo파공솔、기편맥충관도이급예청세시간대Mo박막적상결구、형모급전조솔적영향.결과표명,침적적Mo박막균연(110)정면정주상택우생장;증대Mo파천사공솔가이촉진박막정립장대、제고박막적치밀성、강저전조솔;합괄적기편맥충전압맥관촉진료정핵적형성、장대병유조우침적과정중Mo정립장대,진이강저박막전조솔;통과연장예청세시간가획득치밀성호、전조솔저적Mo박막,소획득적Mo박막최저전조솔위3.5×10-5Ω·cm.
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