功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
12期
2202-2205
,共4页
孔庆花%吉利%李红轩%刘晓红%陈建敏%周惠娣
孔慶花%吉利%李紅軒%劉曉紅%陳建敏%週惠娣
공경화%길리%리홍헌%류효홍%진건민%주혜제
氮化铬薄膜%磁控溅射%溅射电流%微结构%硬度
氮化鉻薄膜%磁控濺射%濺射電流%微結構%硬度
담화락박막%자공천사%천사전류%미결구%경도
采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢以及单晶硅基体上制备了CrNx薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、能量色散X射线能谱仪(EDS)和纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了表征.结果表明,随着溅射电流的增大,薄膜中N/Cr比值减小,相组成由CrN(200)向Cr2N(111)转变;晶粒尺寸减小,柱状结构消失,结构变得致密;由于在大溅射电流下,易于形成Cr2N高硬度相,而且形成的薄膜晶粒细小、结构致密,所以硬度值随溅射电流单调升高,在21A时达到最高,为21GPa.
採用非平衡磁控濺射技術在不鏽鋼以及單晶硅基體上製備瞭CrNx薄膜,併利用X射線衍射儀(XRD)、場髮射掃描電鏡(FESEM)、能量色散X射線能譜儀(EDS)和納米壓痕儀對薄膜的結構和性能進行瞭錶徵.結果錶明,隨著濺射電流的增大,薄膜中N/Cr比值減小,相組成由CrN(200)嚮Cr2N(111)轉變;晶粒呎吋減小,柱狀結構消失,結構變得緻密;由于在大濺射電流下,易于形成Cr2N高硬度相,而且形成的薄膜晶粒細小、結構緻密,所以硬度值隨濺射電流單調升高,在21A時達到最高,為21GPa.
채용비평형자공천사기술재불수강이급단정규기체상제비료CrNx박막,병이용X사선연사의(XRD)、장발사소묘전경(FESEM)、능량색산X사선능보의(EDS)화납미압흔의대박막적결구화성능진행료표정.결과표명,수착천사전류적증대,박막중N/Cr비치감소,상조성유CrN(200)향Cr2N(111)전변;정립척촌감소,주상결구소실,결구변득치밀;유우재대천사전류하,역우형성Cr2N고경도상,이차형성적박막정립세소、결구치밀,소이경도치수천사전류단조승고,재21A시체도최고,위21GPa.
