内蒙古民族大学学报（自然科学版）
內矇古民族大學學報（自然科學版）
내몽고민족대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF INNER MONGOLIA UNIVERSITY FOR NATIONALITIES(NATURAL SCIENCES)
2010年
3期
249-253
,共5页
闫孟泽%赵艳春%孔令权%李之杰
閆孟澤%趙豔春%孔令權%李之傑
염맹택%조염춘%공령권%리지걸
Si(111)表面%分子动力学模拟%吸附
Si(111)錶麵%分子動力學模擬%吸附
Si(111)표면%분자동역학모의%흡부
利用Tersoff半经验多体相互作用势和分子动力学模拟方法研究了荷能的硅原子在Si(111)表面的吸附过程.对100K时,初始入射动能分别为5,15,25,30eV的硅原子从6个不同位置轰击Si(111)表面进行了模拟,观察到了硅原子在Si(111)表面形成的吸附结构,并讨论了不同入射位置和入射能量对吸附结构的影响.结果表明,硅原子相对于表面不同的局部构型发生不同的碰撞过程,而硅原子入射能量的提高有利于成键过程的发生,从原子尺度模拟了沉积机制.
利用Tersoff半經驗多體相互作用勢和分子動力學模擬方法研究瞭荷能的硅原子在Si(111)錶麵的吸附過程.對100K時,初始入射動能分彆為5,15,25,30eV的硅原子從6箇不同位置轟擊Si(111)錶麵進行瞭模擬,觀察到瞭硅原子在Si(111)錶麵形成的吸附結構,併討論瞭不同入射位置和入射能量對吸附結構的影響.結果錶明,硅原子相對于錶麵不同的跼部構型髮生不同的踫撞過程,而硅原子入射能量的提高有利于成鍵過程的髮生,從原子呎度模擬瞭沉積機製.
이용Tersoff반경험다체상호작용세화분자동역학모의방법연구료하능적규원자재Si(111)표면적흡부과정.대100K시,초시입사동능분별위5,15,25,30eV적규원자종6개불동위치굉격Si(111)표면진행료모의,관찰도료규원자재Si(111)표면형성적흡부결구,병토론료불동입사위치화입사능량대흡부결구적영향.결과표명,규원자상대우표면불동적국부구형발생불동적팽당과정,이규원자입사능량적제고유리우성건과정적발생,종원자척도모의료침적궤제.
