中国集成电路
中國集成電路
중국집성전로
CHINA INTEGRATED CIRCUIT
2009年
9期
78-81
,共4页
电迁移%对数正态分布%双控制线管制图%变量分析
電遷移%對數正態分佈%雙控製線管製圖%變量分析
전천이%대수정태분포%쌍공제선관제도%변량분석
针对线上工艺的不同情况,如量产产品工艺监控、工艺改进的验证或者线上异常情况发生时的风险评估,仅进行常规的参数估计和寿命推算是不够的,需要对电迁移加速寿命测试的数据进一步分析.本文结合统计的方法,着重研究通过对X-MR图引入监控因子这个参数形成双控制线管制图来对于量产产品工艺稳定性进行评估,及早发现问题;通过引入T0.1的95%的置信区间来比较子批与母批(基线),从而对工艺改进和线上异常发生时更有效的进行风险评估.
針對線上工藝的不同情況,如量產產品工藝鑑控、工藝改進的驗證或者線上異常情況髮生時的風險評估,僅進行常規的參數估計和壽命推算是不夠的,需要對電遷移加速壽命測試的數據進一步分析.本文結閤統計的方法,著重研究通過對X-MR圖引入鑑控因子這箇參數形成雙控製線管製圖來對于量產產品工藝穩定性進行評估,及早髮現問題;通過引入T0.1的95%的置信區間來比較子批與母批(基線),從而對工藝改進和線上異常髮生時更有效的進行風險評估.
침대선상공예적불동정황,여양산산품공예감공、공예개진적험증혹자선상이상정황발생시적풍험평고,부진행상규적삼수고계화수명추산시불구적,수요대전천이가속수명측시적수거진일보분석.본문결합통계적방법,착중연구통과대X-MR도인입감공인자저개삼수형성쌍공제선관제도래대우양산산품공예은정성진행평고,급조발현문제;통과인입T0.1적95%적치신구간래비교자비여모비(기선),종이대공예개진화선상이상발생시경유효적진행풍험평고.
