仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2009年
2期
416-420
,共5页
王凤伟%张辉%邓善熙%唐海勇%曾汉平
王鳳偉%張輝%鄧善熙%唐海勇%曾漢平
왕봉위%장휘%산선희%당해용%증한평
气动测量%差压式气针传感器%微纳米级分辨力
氣動測量%差壓式氣針傳感器%微納米級分辨力
기동측량%차압식기침전감기%미납미급분변력
提出一种基于差压式气路的微纳米级分辨力气针传感器的设计和工作原理,并对其静态特性进行了理论分析和实验研究.分析出不同输入压力、不同主喷嘴和测量喷嘴孔径对传感器灵敏度和线性范围的影响大小,从而可获得高灵敏度和大线性范围气针传感器的各参数值.该传感器的测量范围为80 μm,分辨力为0.01 μm,测量不确定度小于0.3 μm,适合于高精度微纳米级非接触尺寸测量场合.本文研究内容可以为高精度气动传感器的设计提供理论和实验依据.
提齣一種基于差壓式氣路的微納米級分辨力氣針傳感器的設計和工作原理,併對其靜態特性進行瞭理論分析和實驗研究.分析齣不同輸入壓力、不同主噴嘴和測量噴嘴孔徑對傳感器靈敏度和線性範圍的影響大小,從而可穫得高靈敏度和大線性範圍氣針傳感器的各參數值.該傳感器的測量範圍為80 μm,分辨力為0.01 μm,測量不確定度小于0.3 μm,適閤于高精度微納米級非接觸呎吋測量場閤.本文研究內容可以為高精度氣動傳感器的設計提供理論和實驗依據.
제출일충기우차압식기로적미납미급분변력기침전감기적설계화공작원리,병대기정태특성진행료이론분석화실험연구.분석출불동수입압력、불동주분취화측량분취공경대전감기령민도화선성범위적영향대소,종이가획득고령민도화대선성범위기침전감기적각삼수치.해전감기적측량범위위80 μm,분변력위0.01 μm,측량불학정도소우0.3 μm,괄합우고정도미납미급비접촉척촌측량장합.본문연구내용가이위고정도기동전감기적설계제공이론화실험의거.
