上海师范大学学报（自然科学版）
上海師範大學學報（自然科學版）
상해사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI TEACHERS UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2008年
6期
587-591
,共5页
PZT材料%择优取向%X射线衍射%红外吸收光谱
PZT材料%擇優取嚮%X射線衍射%紅外吸收光譜
PZT재료%택우취향%X사선연사%홍외흡수광보
采用电子束蒸发方法在n-Si(100)衬底上制备Pb(zrxTi1-x)O3(简记为PZT)多晶薄膜.用X射线衍射分析了PZT薄膜的结晶择优取向与Zr/Ti成分比、生长温度、退火气氛和退火温度的关系.结果表明不同Zr/Ti比的薄膜在真空中退火都形成(110)择优取向;而在空气中退火后薄膜的择优方向与Zr/Ti成分比有关,Zr/Ti比值小时为(101)择优取向,Zr/Ti大时为(100)择优取向.红外吸收光谱的测量结果表明(100)和(11O)择优取向的PZT薄膜在长红外波段(8～12 um)存在较强的吸收峰,而(101)择优取向的PZT薄膜在这一波段没有明显的吸收峰.
採用電子束蒸髮方法在n-Si(100)襯底上製備Pb(zrxTi1-x)O3(簡記為PZT)多晶薄膜.用X射線衍射分析瞭PZT薄膜的結晶擇優取嚮與Zr/Ti成分比、生長溫度、退火氣氛和退火溫度的關繫.結果錶明不同Zr/Ti比的薄膜在真空中退火都形成(110)擇優取嚮;而在空氣中退火後薄膜的擇優方嚮與Zr/Ti成分比有關,Zr/Ti比值小時為(101)擇優取嚮,Zr/Ti大時為(100)擇優取嚮.紅外吸收光譜的測量結果錶明(100)和(11O)擇優取嚮的PZT薄膜在長紅外波段(8～12 um)存在較彊的吸收峰,而(101)擇優取嚮的PZT薄膜在這一波段沒有明顯的吸收峰.
채용전자속증발방법재n-Si(100)츤저상제비Pb(zrxTi1-x)O3(간기위PZT)다정박막.용X사선연사분석료PZT박막적결정택우취향여Zr/Ti성분비、생장온도、퇴화기분화퇴화온도적관계.결과표명불동Zr/Ti비적박막재진공중퇴화도형성(110)택우취향;이재공기중퇴화후박막적택우방향여Zr/Ti성분비유관,Zr/Ti비치소시위(101)택우취향,Zr/Ti대시위(100)택우취향.홍외흡수광보적측량결과표명(100)화(11O)택우취향적PZT박막재장홍외파단(8～12 um)존재교강적흡수봉,이(101)택우취향적PZT박막재저일파단몰유명현적흡수봉.
