中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2008年
21期
2570-2572
,共3页
谐振式加速度传感器%有限元%谐振频率%敏感元件
諧振式加速度傳感器%有限元%諧振頻率%敏感元件
해진식가속도전감기%유한원%해진빈솔%민감원건
为解决当前模拟输出式加速度传感器测试精度相对较低的问题,利用谐振式传感器重复性好、分辨率高、稳定性优良的特点,设计了一种谐振式加速度传感器.通过理论计算,得出了线加速度与敏感元件谐振频率之间的关系,并通过有限元软件对其进行了仿真计算.计算结果显示,传感器在空载状况下谐振频率的理论计算结果与有限元分析结果分别为722.2Hz与720.87Hz.在1g加速度下两种计算方法得到的谐振频率计算结果分别为727.3Hz与726.28Hz,两种情况的相对误差仅为0.18%与0.14%.对加工完毕的加速度传感器进行了测试,测试结果表明:在谐振状态下,传感器的敏感元件的谐振频率大约为718.2Hz,与理论计算及仿真结果基本接近,证明了设计的正确性.
為解決噹前模擬輸齣式加速度傳感器測試精度相對較低的問題,利用諧振式傳感器重複性好、分辨率高、穩定性優良的特點,設計瞭一種諧振式加速度傳感器.通過理論計算,得齣瞭線加速度與敏感元件諧振頻率之間的關繫,併通過有限元軟件對其進行瞭倣真計算.計算結果顯示,傳感器在空載狀況下諧振頻率的理論計算結果與有限元分析結果分彆為722.2Hz與720.87Hz.在1g加速度下兩種計算方法得到的諧振頻率計算結果分彆為727.3Hz與726.28Hz,兩種情況的相對誤差僅為0.18%與0.14%.對加工完畢的加速度傳感器進行瞭測試,測試結果錶明:在諧振狀態下,傳感器的敏感元件的諧振頻率大約為718.2Hz,與理論計算及倣真結果基本接近,證明瞭設計的正確性.
위해결당전모의수출식가속도전감기측시정도상대교저적문제,이용해진식전감기중복성호、분변솔고、은정성우량적특점,설계료일충해진식가속도전감기.통과이론계산,득출료선가속도여민감원건해진빈솔지간적관계,병통과유한원연건대기진행료방진계산.계산결과현시,전감기재공재상황하해진빈솔적이론계산결과여유한원분석결과분별위722.2Hz여720.87Hz.재1g가속도하량충계산방법득도적해진빈솔계산결과분별위727.3Hz여726.28Hz,량충정황적상대오차부위0.18%여0.14%.대가공완필적가속도전감기진행료측시,측시결과표명:재해진상태하,전감기적민감원건적해진빈솔대약위718.2Hz,여이론계산급방진결과기본접근,증명료설계적정학성.
