无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2008年
6期
1165-1170
,共6页
赵春年%成来飞%张立同%徐永东%卢翠英%叶昉
趙春年%成來飛%張立同%徐永東%盧翠英%葉昉
조춘년%성래비%장립동%서영동%로취영%협방
原位动力学%热解碳%丙烯%化学气相沉积%GC-MS
原位動力學%熱解碳%丙烯%化學氣相沉積%GC-MS
원위동역학%열해탄%병희%화학기상침적%GC-MS
以丙烯为碳源,利用磁悬浮天平热重系统研究了化学气相沉积热解碳的原位动力学,采用气质联用仪对热解气相冷凝物进行了定性和半定量分析.结果表明:当稀释比为4,总压力为6kPa,丙烯流量为20sccm时,丙烯在850～1100℃之间的热解反应表观活化能为(201.9±0.6)kJ/mol,沉积过程为气相均相反应控制,高温时冷凝物以单环芳烃为主,低温时主要为双环和多环芳烃;在900和1000℃下,丙烯分压在0.3～6.5kPa范围内的热解为一级反应;由于受有效反应时间和丙烯通量的共同作用,沉积速率随滞留时间的延长先增大后减小,在900℃下滞留时间为0.6s时出现最大值.
以丙烯為碳源,利用磁懸浮天平熱重繫統研究瞭化學氣相沉積熱解碳的原位動力學,採用氣質聯用儀對熱解氣相冷凝物進行瞭定性和半定量分析.結果錶明:噹稀釋比為4,總壓力為6kPa,丙烯流量為20sccm時,丙烯在850～1100℃之間的熱解反應錶觀活化能為(201.9±0.6)kJ/mol,沉積過程為氣相均相反應控製,高溫時冷凝物以單環芳烴為主,低溫時主要為雙環和多環芳烴;在900和1000℃下,丙烯分壓在0.3～6.5kPa範圍內的熱解為一級反應;由于受有效反應時間和丙烯通量的共同作用,沉積速率隨滯留時間的延長先增大後減小,在900℃下滯留時間為0.6s時齣現最大值.
이병희위탄원,이용자현부천평열중계통연구료화학기상침적열해탄적원위동역학,채용기질련용의대열해기상냉응물진행료정성화반정량분석.결과표명:당희석비위4,총압력위6kPa,병희류량위20sccm시,병희재850～1100℃지간적열해반응표관활화능위(201.9±0.6)kJ/mol,침적과정위기상균상반응공제,고온시냉응물이단배방경위주,저온시주요위쌍배화다배방경;재900화1000℃하,병희분압재0.3～6.5kPa범위내적열해위일급반응;유우수유효반응시간화병희통량적공동작용,침적속솔수체류시간적연장선증대후감소,재900℃하체류시간위0.6s시출현최대치.
