红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2008年
12期
688-692
,共5页
曲海成%李艳辉%苏栓%杨春章%谭英%高丽华%王善力
麯海成%李豔輝%囌栓%楊春章%譚英%高麗華%王善力
곡해성%리염휘%소전%양춘장%담영%고려화%왕선력
分子束外延%HgCdTe%反射式高能电子衍射仪%脱氧%温度
分子束外延%HgCdTe%反射式高能電子衍射儀%脫氧%溫度
분자속외연%HgCdTe%반사식고능전자연사의%탈양%온도
在分子束外延(MBE)中波HgCdTe薄膜过程中,利用反射式高能电子衍射(RHEED)对衬底表面脱氧和生长过程中生长参数对材料特性的影响进行研究.通过观察RHEED图样的变化,确定了衬底的脱氧状况,获得了生长中衬底温度等生长参数变化引起材料结晶的变化规律,为MBE生长HgCdTe薄膜实验的可控生长提供有效帮助;生长结束后,通过SEM、Hall等手段对HgCdTe的表面缺陷、电学参数等性能进行了初步研究,证明实验说成长的材料基本满足器件制备的要求.
在分子束外延(MBE)中波HgCdTe薄膜過程中,利用反射式高能電子衍射(RHEED)對襯底錶麵脫氧和生長過程中生長參數對材料特性的影響進行研究.通過觀察RHEED圖樣的變化,確定瞭襯底的脫氧狀況,穫得瞭生長中襯底溫度等生長參數變化引起材料結晶的變化規律,為MBE生長HgCdTe薄膜實驗的可控生長提供有效幫助;生長結束後,通過SEM、Hall等手段對HgCdTe的錶麵缺陷、電學參數等性能進行瞭初步研究,證明實驗說成長的材料基本滿足器件製備的要求.
재분자속외연(MBE)중파HgCdTe박막과정중,이용반사식고능전자연사(RHEED)대츤저표면탈양화생장과정중생장삼수대재료특성적영향진행연구.통과관찰RHEED도양적변화,학정료츤저적탈양상황,획득료생장중츤저온도등생장삼수변화인기재료결정적변화규률,위MBE생장HgCdTe박막실험적가공생장제공유효방조;생장결속후,통과SEM、Hall등수단대HgCdTe적표면결함、전학삼수등성능진행료초보연구,증명실험설성장적재료기본만족기건제비적요구.
