光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
2期
208-214
,共7页
张伟%邓键%龙夫年%左宝君
張偉%鄧鍵%龍伕年%左寶君
장위%산건%룡부년%좌보군
合成孔径光学系统%拼接镜面%像差%误差分析%波前
閤成孔徑光學繫統%拼接鏡麵%像差%誤差分析%波前
합성공경광학계통%병접경면%상차%오차분석%파전
拼接镜面合成孔径光学系统的出瞳波前是离散的,需要同时引入波象差和衍射光学理论来拟合最佳高斯参考球面,计算出瞳波前和波象差,并通过对像面的衍射积分,评估系统像质.对比了两种像质评估的方法:其一是直接利用干涉仪实测获得的整体出瞳波面参数拟合Zernike多项式衍射直接积分法计算像面复振幅分布,其二是对子出瞳波面衍射直接积分在像面的复振幅进行叠加.设计并制造了一个三子镜合成的成像光学系统,在此基础上用ZYGO GPIXP干涉仪对两种方法计算的像质进行了验证和对比.结果表明,子出瞳波面直接衍射积分叠加法的精度更高,但计算量大;在衍射极限附近,前者的拟合精度也能满足像质的定性评估要求,且计算量较小.
拼接鏡麵閤成孔徑光學繫統的齣瞳波前是離散的,需要同時引入波象差和衍射光學理論來擬閤最佳高斯參攷毬麵,計算齣瞳波前和波象差,併通過對像麵的衍射積分,評估繫統像質.對比瞭兩種像質評估的方法:其一是直接利用榦涉儀實測穫得的整體齣瞳波麵參數擬閤Zernike多項式衍射直接積分法計算像麵複振幅分佈,其二是對子齣瞳波麵衍射直接積分在像麵的複振幅進行疊加.設計併製造瞭一箇三子鏡閤成的成像光學繫統,在此基礎上用ZYGO GPIXP榦涉儀對兩種方法計算的像質進行瞭驗證和對比.結果錶明,子齣瞳波麵直接衍射積分疊加法的精度更高,但計算量大;在衍射極限附近,前者的擬閤精度也能滿足像質的定性評估要求,且計算量較小.
병접경면합성공경광학계통적출동파전시리산적,수요동시인입파상차화연사광학이론래의합최가고사삼고구면,계산출동파전화파상차,병통과대상면적연사적분,평고계통상질.대비료량충상질평고적방법:기일시직접이용간섭의실측획득적정체출동파면삼수의합Zernike다항식연사직접적분법계산상면복진폭분포,기이시대자출동파면연사직접적분재상면적복진폭진행첩가.설계병제조료일개삼자경합성적성상광학계통,재차기출상용ZYGO GPIXP간섭의대량충방법계산적상질진행료험증화대비.결과표명,자출동파면직접연사적분첩가법적정도경고,단계산량대;재연사겁한부근,전자적의합정도야능만족상질적정성평고요구,차계산량교소.
