中国高新技术企业
中國高新技術企業
중국고신기술기업
China High Technology Enterprises
2007年
12期
96,99
,共2页
半导体%清洗%工艺%污染
半導體%清洗%工藝%汙染
반도체%청세%공예%오염
在硅晶体管和集成电路生产中,几乎每道工序都有硅片清洗的问题,硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响,处理不当,可能使全部硅片报废,做不出晶体管来,或者制造出来的器件性能低劣,稳定性和可靠性很差.因此弄清楚硅片清洗的方法,不管是对于从事硅片加工的人,还是对于从事半导体器件生产的人来说都有着重要的意义.
在硅晶體管和集成電路生產中,幾乎每道工序都有硅片清洗的問題,硅片清洗的好壞對器件性能有嚴重的影響,處理不噹,可能使全部硅片報廢,做不齣晶體管來,或者製造齣來的器件性能低劣,穩定性和可靠性很差.因此弄清楚硅片清洗的方法,不管是對于從事硅片加工的人,還是對于從事半導體器件生產的人來說都有著重要的意義.
재규정체관화집성전로생산중,궤호매도공서도유규편청세적문제,규편청세적호배대기건성능유엄중적영향,처리불당,가능사전부규편보폐,주불출정체관래,혹자제조출래적기건성능저렬,은정성화가고성흔차.인차롱청초규편청세적방법,불관시대우종사규편가공적인,환시대우종사반도체기건생산적인래설도유착중요적의의.
