微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
275-278
,共4页
王宏伟%江世宇%腾功清%齐臣杰
王宏偉%江世宇%騰功清%齊臣傑
왕굉위%강세우%등공청%제신걸
加速度计%电容%铍青铜
加速度計%電容%鈹青銅
가속도계%전용%피청동
利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件,研制出电容敏感式加速度计.设计了一种提取差动电容信号的检测电路.给出了电路中所使用的电子元器件,经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系.经过实验测试,加速度计的灵敏度大约为391.12 mV/(m·s-2).
利用彈性良好的鈹青銅為材料製作加速度計中的敏感振動元件,研製齣電容敏感式加速度計.設計瞭一種提取差動電容信號的檢測電路.給齣瞭電路中所使用的電子元器件,經分析求解得齣瞭電路的輸齣電壓和傳感器信號拾取電容變化量之間的正比例關繫.經過實驗測試,加速度計的靈敏度大約為391.12 mV/(m·s-2).
이용탄성량호적피청동위재료제작가속도계중적민감진동원건,연제출전용민감식가속도계.설계료일충제취차동전용신호적검측전로.급출료전로중소사용적전자원기건,경분석구해득출료전로적수출전압화전감기신호습취전용변화량지간적정비례관계.경과실험측시,가속도계적령민도대약위391.12 mV/(m·s-2).
