中国陶瓷
中國陶瓷
중국도자
CHINA CERAMICS
2007年
8期
34-35,13
,共3页
微机电系统%压电陶瓷测试%多载荷加载台%设计原理
微機電繫統%壓電陶瓷測試%多載荷加載檯%設計原理
미궤전계통%압전도자측시%다재하가재태%설계원리
MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的.为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开发出基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台.这是一个能为MEMS测试提供振动、温度和压力这三种载荷的加载装置.从而为进一步开展MEMS的动态测试工作奠定了基础.
MEMS模態測試的一箇突齣的特點在于非接觸性,無論是振動激勵還是響應測量,都隻能是非接觸的.為解決MEMS測試中非接觸式的振動激勵問題,對基礎激勵的原理進行瞭研究,併設計開髮齣基于壓電陶瓷的MEMS測試用的多載荷加載檯.這是一箇能為MEMS測試提供振動、溫度和壓力這三種載荷的加載裝置.從而為進一步開展MEMS的動態測試工作奠定瞭基礎.
MEMS모태측시적일개돌출적특점재우비접촉성,무론시진동격려환시향응측량,도지능시비접촉적.위해결MEMS측시중비접촉식적진동격려문제,대기출격려적원리진행료연구,병설계개발출기우압전도자적MEMS측시용적다재하가재태.저시일개능위MEMS측시제공진동、온도화압력저삼충재하적가재장치.종이위진일보개전MEMS적동태측시공작전정료기출.
