功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
7期
1173-1175
,共3页
郭世斌%曲杨%吕反修%唐伟忠%佟玉梅%宋建华
郭世斌%麯楊%呂反脩%唐偉忠%佟玉梅%宋建華
곽세빈%곡양%려반수%당위충%동옥매%송건화
金刚石自支撑膜%机械抛光%优化工艺
金剛石自支撐膜%機械拋光%優化工藝
금강석자지탱막%궤계포광%우화공예
研究了一种用于抛光等离子体溅射CVD法制备的金刚石自支撑膜的高效安全的抛光工艺.试验探索了转盘转速、金刚石粉颗粒尺寸、磨盘表面形状对金刚石自支撑膜磨抛速率的影响.研究表明:带槽盘对金刚石自支撑膜的粗研磨效果明显,速率较高,平面盘对提高金刚石自支撑膜的表面粗糙度有利;不同颗粒的金刚石粉对应着各自合适的能充分利用其磨削能力的转速,在这个转速下,金刚石自支撑膜的磨抛速率在12μm/h左右.本文通过对新的工艺参数的探索,为金刚石自支撑膜后续加工提供有力的技术支持.
研究瞭一種用于拋光等離子體濺射CVD法製備的金剛石自支撐膜的高效安全的拋光工藝.試驗探索瞭轉盤轉速、金剛石粉顆粒呎吋、磨盤錶麵形狀對金剛石自支撐膜磨拋速率的影響.研究錶明:帶槽盤對金剛石自支撐膜的粗研磨效果明顯,速率較高,平麵盤對提高金剛石自支撐膜的錶麵粗糙度有利;不同顆粒的金剛石粉對應著各自閤適的能充分利用其磨削能力的轉速,在這箇轉速下,金剛石自支撐膜的磨拋速率在12μm/h左右.本文通過對新的工藝參數的探索,為金剛石自支撐膜後續加工提供有力的技術支持.
연구료일충용우포광등리자체천사CVD법제비적금강석자지탱막적고효안전적포광공예.시험탐색료전반전속、금강석분과립척촌、마반표면형상대금강석자지탱막마포속솔적영향.연구표명:대조반대금강석자지탱막적조연마효과명현,속솔교고,평면반대제고금강석자지탱막적표면조조도유리;불동과립적금강석분대응착각자합괄적능충분이용기마삭능력적전속,재저개전속하,금강석자지탱막적마포속솔재12μm/h좌우.본문통과대신적공예삼수적탐색,위금강석자지탱막후속가공제공유력적기술지지.
