实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2006年
9期
29-31
,共3页
复磁导率%磁性薄膜%射频%阻抗/材料分析仪
複磁導率%磁性薄膜%射頻%阻抗/材料分析儀
복자도솔%자성박막%사빈%조항/재료분석의
该文提出了一种新的高频复磁导率的测试方法.首先确定E4991A射频阻抗/材料分析仪的测量原理为单线圈法,在此基础上推导出了测量有衬底磁性薄膜复磁导率所适用的公式.在实际测试过程中,将衬底放入夹具中作夹具短路补偿,减小了由衬底带来的误差;通过反复验证,弄清了系统提供的阻抗值表示的意义,并据此对磁导率的计算公式进行了修正,最后给出了磁性薄膜复磁导率的测量结果.实验表明,该方法简便易行,所得数据与文献中同类薄膜的测量数据基本符合.
該文提齣瞭一種新的高頻複磁導率的測試方法.首先確定E4991A射頻阻抗/材料分析儀的測量原理為單線圈法,在此基礎上推導齣瞭測量有襯底磁性薄膜複磁導率所適用的公式.在實際測試過程中,將襯底放入夾具中作夾具短路補償,減小瞭由襯底帶來的誤差;通過反複驗證,弄清瞭繫統提供的阻抗值錶示的意義,併據此對磁導率的計算公式進行瞭脩正,最後給齣瞭磁性薄膜複磁導率的測量結果.實驗錶明,該方法簡便易行,所得數據與文獻中同類薄膜的測量數據基本符閤.
해문제출료일충신적고빈복자도솔적측시방법.수선학정E4991A사빈조항/재료분석의적측량원리위단선권법,재차기출상추도출료측량유츤저자성박막복자도솔소괄용적공식.재실제측시과정중,장츤저방입협구중작협구단로보상,감소료유츤저대래적오차;통과반복험증,롱청료계통제공적조항치표시적의의,병거차대자도솔적계산공식진행료수정,최후급출료자성박막복자도솔적측량결과.실험표명,해방법간편역행,소득수거여문헌중동류박막적측량수거기본부합.
