太阳能硅片双束激光划槽方法与装置
태양능규편쌍속격광화조방법여장치
The method and device of dual-beam laser lane designated slot for Solar silicon chip
  • 万方数据
    激光杂志 격광잡지
    LASER JOURNAL
    2008年 6期 80-80 ,共1页

    王涛%李玉翔%张福军%姚建铨%刘晓雯%李福增%朱超男

    왕도%리옥상%장복군%요건전%류효문%리복증%주초남

    Z型谐振腔%双束激光%太阳能硅芯片 Z型諧振腔%雙束激光%太暘能硅芯片
    Z형해진강%쌍속격광%태양능규심편
    本文提出一种太阳能硅片双束激光划槽方法和装置,它利用Z型谐振腔的Nd:YAG激光器,声光Q开关调制,经直角棱镜发射双束激光,扩束聚焦输出到太阳能硅片表面,划槽最小线宽:20μm,最大划片速度:120mm/s、使生产率提高100%,节约能源30%.
    본문제출일충태양능규편쌍속격광화조방법화장치,타이용Z형해진강적Nd:YAG격광기,성광Q개관조제,경직각릉경발사쌍속격광,확속취초수출도태양능규편표면,화조최소선관:20μm,최대화편속도:120mm/s、사생산솔제고100%,절약능원30%.
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