应用科学学报
應用科學學報
응용과학학보
JOURNAL OF APPLIED SCIENCES
2006年
4期
429-432
,共4页
陈海涛%胡界博%娄辉%蔡洪涛%丁玲红%张伟风
陳海濤%鬍界博%婁輝%蔡洪濤%丁玲紅%張偉風
진해도%호계박%루휘%채홍도%정령홍%장위풍
溶胶-凝胶法%BaTiO3薄膜%表面态%XPS%ARXPS
溶膠-凝膠法%BaTiO3薄膜%錶麵態%XPS%ARXPS
용효-응효법%BaTiO3박막%표면태%XPS%ARXPS
用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在SiO2/Si(111)基片上生长了钙钛矿结构BaTiO3薄膜.用X射线光电子能谱技术(XPS)和角分辨X射线光电子能谱技术(ARXPS)研究了薄膜的表面化学态以及最顶层的原子种类和分布状况,结果显示在热处理过程中薄膜表面形成一层富含BaO的非计量钛氧化物层,并且钡-钛原子浓度比随着探测深度的增大而逐渐减小.
用溶膠-凝膠法和快速退火工藝在SiO2/Si(111)基片上生長瞭鈣鈦礦結構BaTiO3薄膜.用X射線光電子能譜技術(XPS)和角分辨X射線光電子能譜技術(ARXPS)研究瞭薄膜的錶麵化學態以及最頂層的原子種類和分佈狀況,結果顯示在熱處理過程中薄膜錶麵形成一層富含BaO的非計量鈦氧化物層,併且鋇-鈦原子濃度比隨著探測深度的增大而逐漸減小.
용용효-응효법화쾌속퇴화공예재SiO2/Si(111)기편상생장료개태광결구BaTiO3박막.용X사선광전자능보기술(XPS)화각분변X사선광전자능보기술(ARXPS)연구료박막적표면화학태이급최정층적원자충류화분포상황,결과현시재열처리과정중박막표면형성일층부함BaO적비계량태양화물층,병차패-태원자농도비수착탐측심도적증대이축점감소.
