功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
6期
1013-1018
,共6页
牛永波%冯洁%陈翔%郑金平
牛永波%馮潔%陳翔%鄭金平
우영파%풍길%진상%정금평
巨磁电阻效应%多层膜%NiFeCo/Cu%磁性生物传感器
巨磁電阻效應%多層膜%NiFeCo/Cu%磁性生物傳感器
거자전조효응%다층막%NiFeCo/Cu%자성생물전감기
分析了应用于磁性生物检测的GMR传感器的工作原理.直流磁控溅射法制备了Ni65Fe15CO20/Cu多层膜,研究了室温下多层膜的GMR效应对缓冲层(NiFeCo)厚度、间隔层(Cu)厚度及铁磁层(NiFeCo)厚度等参数的依赖关系,得到了GMR值达8.8%的多层膜样品:缓冲层(NiFeCo)5nm,间隔层(Cu)2.4nm,铁磁层(NiFeCo)1.6nm,且饱和场低、磁滞小、灵敏度较高,符合磁性生物检测技术的要求.制备了基于优化参数NiFeCo/Cu多层膜的GMR传感器,对器件的性能进行了测试,结果表明所制备的GMR传感器能够检测磁微球.
分析瞭應用于磁性生物檢測的GMR傳感器的工作原理.直流磁控濺射法製備瞭Ni65Fe15CO20/Cu多層膜,研究瞭室溫下多層膜的GMR效應對緩遲層(NiFeCo)厚度、間隔層(Cu)厚度及鐵磁層(NiFeCo)厚度等參數的依賴關繫,得到瞭GMR值達8.8%的多層膜樣品:緩遲層(NiFeCo)5nm,間隔層(Cu)2.4nm,鐵磁層(NiFeCo)1.6nm,且飽和場低、磁滯小、靈敏度較高,符閤磁性生物檢測技術的要求.製備瞭基于優化參數NiFeCo/Cu多層膜的GMR傳感器,對器件的性能進行瞭測試,結果錶明所製備的GMR傳感器能夠檢測磁微毬.
분석료응용우자성생물검측적GMR전감기적공작원리.직류자공천사법제비료Ni65Fe15CO20/Cu다층막,연구료실온하다층막적GMR효응대완충층(NiFeCo)후도、간격층(Cu)후도급철자층(NiFeCo)후도등삼수적의뢰관계,득도료GMR치체8.8%적다층막양품:완충층(NiFeCo)5nm,간격층(Cu)2.4nm,철자층(NiFeCo)1.6nm,차포화장저、자체소、령민도교고,부합자성생물검측기술적요구.제비료기우우화삼수NiFeCo/Cu다층막적GMR전감기,대기건적성능진행료측시,결과표명소제비적GMR전감기능구검측자미구.
