长春理工大学学报(自然科学版)
長春理工大學學報(自然科學版)
장춘리공대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
1期
86-88
,共3页
郭艳玲%薄春卫%桑卫兵%王国政%吴奎%姜德龙
郭豔玲%薄春衛%桑衛兵%王國政%吳奎%薑德龍
곽염령%박춘위%상위병%왕국정%오규%강덕룡
先进技术微通道板%连续打拿极%LPCVD
先進技術微通道闆%連續打拿極%LPCVD
선진기술미통도판%련속타나겁%LPCVD
本文阐述了MCP连续打拿极传统的制备方法,并提出采用半导体技术制备Si-MCP连续打拿极的新途径,通过对比进一步总结出采用新方法制备MCP连续打拿极的优越性.
本文闡述瞭MCP連續打拿極傳統的製備方法,併提齣採用半導體技術製備Si-MCP連續打拿極的新途徑,通過對比進一步總結齣採用新方法製備MCP連續打拿極的優越性.
본문천술료MCP련속타나겁전통적제비방법,병제출채용반도체기술제비Si-MCP련속타나겁적신도경,통과대비진일보총결출채용신방법제비MCP련속타나겁적우월성.
