浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2006年
1期
72-75,82
,共5页
雷勇%陈本永%杨元兆%张丽琼%王俊茹%冯平
雷勇%陳本永%楊元兆%張麗瓊%王俊茹%馮平
뢰용%진본영%양원조%장려경%왕준여%풍평
纳米科技%磁悬浮%微动工作台%高精度%大范围
納米科技%磁懸浮%微動工作檯%高精度%大範圍
납미과기%자현부%미동공작태%고정도%대범위
纳米级微动工作台是纳米科学技术研究的关键仪器设备,本文对纳米级微动工作台的研究现状进行了综述,对现有的纳米级微动工作台的工作原理、性能特点和可实现的运动范围及精度进行了分析比较,在此基础上,对纳米级微动工作台的发展趋势做了展望.
納米級微動工作檯是納米科學技術研究的關鍵儀器設備,本文對納米級微動工作檯的研究現狀進行瞭綜述,對現有的納米級微動工作檯的工作原理、性能特點和可實現的運動範圍及精度進行瞭分析比較,在此基礎上,對納米級微動工作檯的髮展趨勢做瞭展望.
납미급미동공작태시납미과학기술연구적관건의기설비,본문대납미급미동공작태적연구현상진행료종술,대현유적납미급미동공작태적공작원리、성능특점화가실현적운동범위급정도진행료분석비교,재차기출상,대납미급미동공작태적발전추세주료전망.
