纳米加工和纳米电子器件
납미가공화납미전자기건
Nano-Fabrication and Nano-Electron Devices
  • 万方数据
    微纳电子技术 미납전자기술
    MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
    2005年 9期 393-397 ,共5页

    刘明%谢常青%王丛舜%龙世兵%李志钢%易里成荣%涂德钰

    류명%사상청%왕총순%룡세병%리지강%역리성영%도덕옥

    自上而下的纳米加工%纳米器件%单电子器件%共振隧穿器件 自上而下的納米加工%納米器件%單電子器件%共振隧穿器件
    자상이하적납미가공%납미기건%단전자기건%공진수천기건
    介绍了电子束曝光技术、EUV光刻技术和X射线光刻技术的进展;对各种纳米电子器件如单电子器件、共振隧穿器件和分子电子器件的研究现状及面临的主要挑战进行了讨论.
    개소료전자속폭광기술、EUV광각기술화X사선광각기술적진전;대각충납미전자기건여단전자기건、공진수천기건화분자전자기건적연구현상급면림적주요도전진행료토론.
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