电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2005年
10期
19-23
,共5页
乔俊仙%王肇志%胡松%余国彬
喬俊仙%王肇誌%鬍鬆%餘國彬
교준선%왕조지%호송%여국빈
激光干涉仪%工件台%电子束曝光机%误差分析
激光榦涉儀%工件檯%電子束曝光機%誤差分析
격광간섭의%공건태%전자속폭광궤%오차분석
由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要.介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪.对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的补偿方法.
由于電子束曝光機採用的脩正技術,工件檯的測量繫統顯得十分重要.介紹瞭電子束曝光機激光定位精密工件檯的工作原理,其測量繫統首次採用國際先進的HP5527雙頻激光榦涉儀.對測量繫統進行瞭詳細的誤差分析,在此基礎上提齣瞭繫統誤差的補償方法.
유우전자속폭광궤채용적수정기술,공건태적측량계통현득십분중요.개소료전자속폭광궤격광정위정밀공건태적공작원리,기측량계통수차채용국제선진적HP5527쌍빈격광간섭의.대측량계통진행료상세적오차분석,재차기출상제출료계통오차적보상방법.
