中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2004年
z2期
243-246
,共4页
金爱子%陈雷明%杨海方%罗强%崔铮
金愛子%陳雷明%楊海方%囉彊%崔錚
금애자%진뢰명%양해방%라강%최쟁
聚焦离子束%微加工技术%二维光子晶体%纳米电极
聚焦離子束%微加工技術%二維光子晶體%納米電極
취초리자속%미가공기술%이유광자정체%납미전겁
聚焦电子束离子束双束系统由于其电子束与离子束同存于一个腔体内,可以使用电子束扫描直接了解欲加工样品的形貌并确定加工位置,转换至离子束便可以直接加工,所以在制备透射电镜样品、光子晶体、一维纳米材料电极等工艺上有不可取代的优异条件,成为微加工技术中不可或缺的重要设备.详细介绍了利用美国FEI公司的DB235系统制备透射电镜样品、光子晶体、一维纳米材料电极等新技术的工艺过程,并与其它一些相关的制备方法进行了比较.
聚焦電子束離子束雙束繫統由于其電子束與離子束同存于一箇腔體內,可以使用電子束掃描直接瞭解欲加工樣品的形貌併確定加工位置,轉換至離子束便可以直接加工,所以在製備透射電鏡樣品、光子晶體、一維納米材料電極等工藝上有不可取代的優異條件,成為微加工技術中不可或缺的重要設備.詳細介紹瞭利用美國FEI公司的DB235繫統製備透射電鏡樣品、光子晶體、一維納米材料電極等新技術的工藝過程,併與其它一些相關的製備方法進行瞭比較.
취초전자속리자속쌍속계통유우기전자속여리자속동존우일개강체내,가이사용전자속소묘직접료해욕가공양품적형모병학정가공위치,전환지리자속편가이직접가공,소이재제비투사전경양품、광자정체、일유납미재료전겁등공예상유불가취대적우이조건,성위미가공기술중불가혹결적중요설비.상세개소료이용미국FEI공사적DB235계통제비투사전경양품、광자정체、일유납미재료전겁등신기술적공예과정,병여기타일사상관적제비방법진행료비교.
