功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
z1期
3198-3200,3204
,共4页
王青%阴生毅%胡跃辉%朱秀红%荣延栋%周怀恩%陈光华
王青%陰生毅%鬍躍輝%硃秀紅%榮延棟%週懷恩%陳光華
왕청%음생의%호약휘%주수홍%영연동%주부은%진광화
氢化非晶硅%氢含量%光敏性%光致衰退
氫化非晶硅%氫含量%光敏性%光緻衰退
경화비정규%경함량%광민성%광치쇠퇴
采用MW-ECR CVD方法制备的a-Si:H薄膜在模拟太阳光照射下进行光敏性(σp.σ d)和光致衰退测试.对比了有、无热丝辅助沉积的薄膜的光电特性,得出沉积温度是影响薄膜光敏性的主要因素,而适当温度的热丝辅助对于薄膜的光致衰退有一定延缓作用.
採用MW-ECR CVD方法製備的a-Si:H薄膜在模擬太暘光照射下進行光敏性(σp.σ d)和光緻衰退測試.對比瞭有、無熱絲輔助沉積的薄膜的光電特性,得齣沉積溫度是影響薄膜光敏性的主要因素,而適噹溫度的熱絲輔助對于薄膜的光緻衰退有一定延緩作用.
채용MW-ECR CVD방법제비적a-Si:H박막재모의태양광조사하진행광민성(σp.σ d)화광치쇠퇴측시.대비료유、무열사보조침적적박막적광전특성,득출침적온도시영향박막광민성적주요인소,이괄당온도적열사보조대우박막적광치쇠퇴유일정연완작용.
