科学通报
科學通報
과학통보
CHINESE SCIENCE BULLETIN
2003年
12期
1282-1285
,共4页
蔡让岐%陈光华%宋雪梅%邢光建%冯贞健%贺德衍
蔡讓岐%陳光華%宋雪梅%邢光建%馮貞健%賀德衍
채양기%진광화%송설매%형광건%풍정건%하덕연
微波化学气相沉积(MW-CVD) 纳米金刚石薄膜 场电子发射
微波化學氣相沉積(MW-CVD) 納米金剛石薄膜 場電子髮射
미파화학기상침적(MW-CVD) 납미금강석박막 장전자발사
在爆炸法合成的纳米金刚石粉涂层上, 用微波等离子体化学气相沉积法制备了含有大量纳米晶的金刚石薄膜.应用XRD, Raman和SEM对其结构进行了分析.应用平面薄膜二极式结构研究了它的场电子发射特性, 结果表明:这种含有纳米金刚石的薄膜具有更低的开启电压(1.8 V/m)和更高的场发射电流密度(50 mA/cm2).应用纳米金刚石晶粒的量子尺寸效应对这种实验结果给予了理论说明.
在爆炸法閤成的納米金剛石粉塗層上, 用微波等離子體化學氣相沉積法製備瞭含有大量納米晶的金剛石薄膜.應用XRD, Raman和SEM對其結構進行瞭分析.應用平麵薄膜二極式結構研究瞭它的場電子髮射特性, 結果錶明:這種含有納米金剛石的薄膜具有更低的開啟電壓(1.8 V/m)和更高的場髮射電流密度(50 mA/cm2).應用納米金剛石晶粒的量子呎吋效應對這種實驗結果給予瞭理論說明.
재폭작법합성적납미금강석분도층상, 용미파등리자체화학기상침적법제비료함유대량납미정적금강석박막.응용XRD, Raman화SEM대기결구진행료분석.응용평면박막이겁식결구연구료타적장전자발사특성, 결과표명:저충함유납미금강석적박막구유경저적개계전압(1.8 V/m)화경고적장발사전류밀도(50 mA/cm2).응용납미금강석정립적양자척촌효응대저충실험결과급여료이론설명.
