腐蚀与防护
腐蝕與防護
부식여방호
CORROSION & PROTECTION
2003年
6期
252-253
,共2页
肖李鹏%熊国刚%李恩平
肖李鵬%熊國剛%李恩平
초리붕%웅국강%리은평
反应离子镀%结合强度%沉积速率
反應離子鍍%結閤彊度%沉積速率
반응리자도%결합강도%침적속솔
讨论了在采用离子镀获得Al_2O_3与TiO_2混合涂层工艺过程中,真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响。
討論瞭在採用離子鍍穫得Al_2O_3與TiO_2混閤塗層工藝過程中,真空度、基片偏壓、電子鎗功率等主要工藝參數對塗層性能的影響。
토론료재채용리자도획득Al_2O_3여TiO_2혼합도층공예과정중,진공도、기편편압、전자창공솔등주요공예삼수대도층성능적영향。