传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
5期
8-9,12
,共3页
唐世洪%邓永和%叶伏秋%刘生长
唐世洪%鄧永和%葉伏鞦%劉生長
당세홍%산영화%협복추%류생장
激光束成像%弹性膜%应变
激光束成像%彈性膜%應變
격광속성상%탄성막%응변
用激光束成像法对双E型传感器的硅弹性膜应变进行的研究,测出了该弹性膜的应变情况 ,此方法对其它结构形式的敏感芯片应变的研究也有一定的参考价值.
用激光束成像法對雙E型傳感器的硅彈性膜應變進行的研究,測齣瞭該彈性膜的應變情況 ,此方法對其它結構形式的敏感芯片應變的研究也有一定的參攷價值.
용격광속성상법대쌍E형전감기적규탄성막응변진행적연구,측출료해탄성막적응변정황 ,차방법대기타결구형식적민감심편응변적연구야유일정적삼고개치.
