稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2001年
5期
340-344
,共5页
闵靖%邹子英%李积和%周子美%陈青松%陈一
閔靖%鄒子英%李積和%週子美%陳青鬆%陳一
민정%추자영%리적화%주자미%진청송%진일
机械损伤%软损伤%氧化诱生层错%S坑缺陷%外吸除%内吸除
機械損傷%軟損傷%氧化誘生層錯%S坑缺陷%外吸除%內吸除
궤계손상%연손상%양화유생층착%S갱결함%외흡제%내흡제
用 SEM、TEM 和光学显微镜研究了硅片背面的机械损伤(包括软损伤)和多晶硅的晶格结构,以及热处理过程中晶格结构和缺陷的演化,探索了吸杂的机理.实验结果表明,用本技术能减少S坑密度,提高硅片产生寿命,对金、铜等金属杂质有吸杂的效果.
用 SEM、TEM 和光學顯微鏡研究瞭硅片揹麵的機械損傷(包括軟損傷)和多晶硅的晶格結構,以及熱處理過程中晶格結構和缺陷的縯化,探索瞭吸雜的機理.實驗結果錶明,用本技術能減少S坑密度,提高硅片產生壽命,對金、銅等金屬雜質有吸雜的效果.
용 SEM、TEM 화광학현미경연구료규편배면적궤계손상(포괄연손상)화다정규적정격결구,이급열처리과정중정격결구화결함적연화,탐색료흡잡적궤리.실험결과표명,용본기술능감소S갱밀도,제고규편산생수명,대금、동등금속잡질유흡잡적효과.
