中国科学E辑
中國科學E輯
중국과학E집
SCIENCE IN CHINA (SERIES E)
2001年
5期
399-404
,共6页
吴瑜光%张通和%张荟星%张孝吉%周固
吳瑜光%張通和%張薈星%張孝吉%週固
오유광%장통화%장회성%장효길%주고
金属离子注入%电阻率%纳米颗粒%导电机理
金屬離子註入%電阻率%納米顆粒%導電機理
금속리자주입%전조솔%납미과립%도전궤리
采用MEVVA离子注入机引出的Ag,Cu,Ti和Si离子注入聚酯薄膜,注入后的聚酯膜电阻率大大降低了.用透射电子显微镜观察注入聚酯膜的横截面,TEM照片表明,在注入层中形成了纳米金属颗粒和富集的碳颗粒.用X射线衍射测量了注入层中结构的变化和新相的形成,进而讨论了金属离子注入聚酯膜的导电机理.
採用MEVVA離子註入機引齣的Ag,Cu,Ti和Si離子註入聚酯薄膜,註入後的聚酯膜電阻率大大降低瞭.用透射電子顯微鏡觀察註入聚酯膜的橫截麵,TEM照片錶明,在註入層中形成瞭納米金屬顆粒和富集的碳顆粒.用X射線衍射測量瞭註入層中結構的變化和新相的形成,進而討論瞭金屬離子註入聚酯膜的導電機理.
채용MEVVA리자주입궤인출적Ag,Cu,Ti화Si리자주입취지박막,주입후적취지막전조솔대대강저료.용투사전자현미경관찰주입취지막적횡절면,TEM조편표명,재주입층중형성료납미금속과립화부집적탄과립.용X사선연사측량료주입층중결구적변화화신상적형성,진이토론료금속리자주입취지막적도전궤리.
