功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2001年
4期
384-388
,共5页
梯度%磁场%磁控溅射%薄膜
梯度%磁場%磁控濺射%薄膜
제도%자장%자공천사%박막
通过在放电空间中引入垂直基片方向有梯度的磁场 , 使得利用普通的平面磁控溅射技术可以方便地制备磁性薄膜 .与此同时,磁性薄膜的许多物理性能发生了变化.这种变化还出现于非磁性靶的情况中.本工作对有、无磁场时溅射的过程与结果作了比较,包括自偏压值,薄膜结晶状况,薄膜磁性能的变化等等.通过比较认为,带电粒子在放电空间中的特殊磁场位形中的运动是变化的根本原因 .
通過在放電空間中引入垂直基片方嚮有梯度的磁場 , 使得利用普通的平麵磁控濺射技術可以方便地製備磁性薄膜 .與此同時,磁性薄膜的許多物理性能髮生瞭變化.這種變化還齣現于非磁性靶的情況中.本工作對有、無磁場時濺射的過程與結果作瞭比較,包括自偏壓值,薄膜結晶狀況,薄膜磁性能的變化等等.通過比較認為,帶電粒子在放電空間中的特殊磁場位形中的運動是變化的根本原因 .
통과재방전공간중인입수직기편방향유제도적자장 , 사득이용보통적평면자공천사기술가이방편지제비자성박막 .여차동시,자성박막적허다물이성능발생료변화.저충변화환출현우비자성파적정황중.본공작대유、무자장시천사적과정여결과작료비교,포괄자편압치,박막결정상황,박막자성능적변화등등.통과비교인위,대전입자재방전공간중적특수자장위형중적운동시변화적근본원인 .
