沈阳工业大学学报
瀋暘工業大學學報
침양공업대학학보
JOURNAL OF SHENYANG POLYTECHNIC UNIVERSITY
2008年
5期
525-529
,共5页
张春华%芦伟%杨舒宇%张松%张希川%刘常升
張春華%蘆偉%楊舒宇%張鬆%張希川%劉常升
장춘화%호위%양서우%장송%장희천%류상승
Ti6Al4V合金%TiAlN合金%薄膜%多弧离子镀%膜基硬度比
Ti6Al4V閤金%TiAlN閤金%薄膜%多弧離子鍍%膜基硬度比
Ti6Al4V합금%TiAlN합금%박막%다호리자도%막기경도비
为了研究不同偏压对TiAlN薄膜性能的影响以及薄膜体系膜基硬度比随载荷的变化关系,采用多弧离子镀的方法在Ti6Al4V合金表面制备TiAlN薄膜,利用扫描电子显微镜、x-射线衍射仪、全自动显微硬度计等设备对膜层的微观组织结构和力学性能进行了测试.结果表明,TiAlN膜层由Ti2AlN(hcp)相组成.在恒定载荷条件下,体系的膜基硬度比随载荷的增加而减小.当载荷小于300 g时,偏压对膜基硬度比与载荷关系曲线呈不规则影响.载荷超过300 g以后,几乎没有影响.
為瞭研究不同偏壓對TiAlN薄膜性能的影響以及薄膜體繫膜基硬度比隨載荷的變化關繫,採用多弧離子鍍的方法在Ti6Al4V閤金錶麵製備TiAlN薄膜,利用掃描電子顯微鏡、x-射線衍射儀、全自動顯微硬度計等設備對膜層的微觀組織結構和力學性能進行瞭測試.結果錶明,TiAlN膜層由Ti2AlN(hcp)相組成.在恆定載荷條件下,體繫的膜基硬度比隨載荷的增加而減小.噹載荷小于300 g時,偏壓對膜基硬度比與載荷關繫麯線呈不規則影響.載荷超過300 g以後,幾乎沒有影響.
위료연구불동편압대TiAlN박막성능적영향이급박막체계막기경도비수재하적변화관계,채용다호리자도적방법재Ti6Al4V합금표면제비TiAlN박막,이용소묘전자현미경、x-사선연사의、전자동현미경도계등설비대막층적미관조직결구화역학성능진행료측시.결과표명,TiAlN막층유Ti2AlN(hcp)상조성.재항정재하조건하,체계적막기경도비수재하적증가이감소.당재하소우300 g시,편압대막기경도비여재하관계곡선정불규칙영향.재하초과300 g이후,궤호몰유영향.
