红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2000年
5期
397-400
,共4页
王善忠%谢绳武%庞乾骏%姬荣斌%巫艳%何力
王善忠%謝繩武%龐乾駿%姬榮斌%巫豔%何力
왕선충%사승무%방건준%희영빈%무염%하력
氮掺杂源%MBE%p-ZnSe%评价
氮摻雜源%MBE%p-ZnSe%評價
담참잡원%MBE%p-ZnSe%평개
研制了石英质射频激励等离子体活性氮源,将此氮源安装到国产FW-Ⅲ型分子束外延设备上,成功地生长了p型ZnSe∶N优质单晶薄膜.SIMS测量表明,薄膜中氮浓度高达～1.5×1020cm-3;PL测量表明,氮在ZnSe中形成了受主能级;C-V测量表明,净空穴浓度[Na]-[Nd]≈5×1017cm-3,达到了制备原理性蓝绿色激光二极管的要求(～4.0×1017cm-3).C-V测量的结果同时得到远红外光谱法测量数据的佐证.
研製瞭石英質射頻激勵等離子體活性氮源,將此氮源安裝到國產FW-Ⅲ型分子束外延設備上,成功地生長瞭p型ZnSe∶N優質單晶薄膜.SIMS測量錶明,薄膜中氮濃度高達～1.5×1020cm-3;PL測量錶明,氮在ZnSe中形成瞭受主能級;C-V測量錶明,淨空穴濃度[Na]-[Nd]≈5×1017cm-3,達到瞭製備原理性藍綠色激光二極管的要求(～4.0×1017cm-3).C-V測量的結果同時得到遠紅外光譜法測量數據的佐證.
연제료석영질사빈격려등리자체활성담원,장차담원안장도국산FW-Ⅲ형분자속외연설비상,성공지생장료p형ZnSe∶N우질단정박막.SIMS측량표명,박막중담농도고체～1.5×1020cm-3;PL측량표명,담재ZnSe중형성료수주능급;C-V측량표명,정공혈농도[Na]-[Nd]≈5×1017cm-3,체도료제비원이성람록색격광이겁관적요구(～4.0×1017cm-3).C-V측량적결과동시득도원홍외광보법측량수거적좌증.
