乙炔-氧气火焰沉积高质量、致密金刚石厚膜
을결-양기화염침적고질량、치밀금강석후막
Synthesis of High Quality and Compact Diamond Thick Films in Acetylene-oxygen Flame
  • 万方数据
    新技术新工艺 신기술신공예
    NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
    2000年 4期 40-41 ,共2页

    张宏志%姚英学%陈朔冬

    장굉지%요영학%진삭동

    金刚石厚膜%燃焰法%CVD 金剛石厚膜%燃燄法%CVD
    금강석후막%연염법%CVD
    通过实验分析了沉积温度、乙炔-氧气流量配比对金刚石厚膜质量的影响及高质量金刚石厚膜的生长过程.
    통과실험분석료침적온도、을결-양기류량배비대금강석후막질량적영향급고질량금강석후막적생장과정.
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