辽宁大学学报（自然科学版）
遼寧大學學報（自然科學版）
료녕대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2000年
2期
154-156
,共3页
压力传感器%挠度%弯曲刚度%断裂应力
壓力傳感器%撓度%彎麯剛度%斷裂應力
압력전감기%뇨도%만곡강도%단렬응력
电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用,但硅杯形状对传感器的灵敏度影响较大,本文提出一种新的硅杯形状,并通过分析计算,设计出了改进型的电容式集成压力传感器.
電容式集成壓力傳感器因其特有的一繫列優點而被廣汎採用,但硅杯形狀對傳感器的靈敏度影響較大,本文提齣一種新的硅杯形狀,併通過分析計算,設計齣瞭改進型的電容式集成壓力傳感器.
전용식집성압력전감기인기특유적일계렬우점이피엄범채용,단규배형상대전감기적령민도영향교대,본문제출일충신적규배형상,병통과분석계산,설계출료개진형적전용식집성압력전감기.
