用喷雾热分解法制备MgO薄膜
용분무열분해법제비MgO박막
SIMPLE SPRAY PYROLYSIS APPROACH TO PREPARE MgO THIN FILMS
  • 万方数据
    材料研究学报 재료연구학보
    CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
    2000年 1期 72-75 ,共4页

    武光明%符晓荣%宋世庚%林成鲁

    무광명%부효영%송세경%림성로

    氧化镁%薄膜%喷雾热分解 氧化鎂%薄膜%噴霧熱分解
    양화미%박막%분무열분해
    用压缩空气式喷雾热分解法在Si(100)衬底上制备了(100)取向MgO薄膜.结果表明,衬底温度和喷雾速率是制备(100)取向MgO薄膜的关键因素.在600℃得到了(100)取向的MgO薄膜,用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和透射电镜(TEM)分析了薄膜的微观结构.
    용압축공기식분무열분해법재Si(100)츤저상제비료(100)취향MgO박막.결과표명,츤저온도화분무속솔시제비(100)취향MgO박막적관건인소.재600℃득도료(100)취향적MgO박막,용X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)화투사전경(TEM)분석료박막적미관결구.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문