岳阳师范学院学报(自然科学版)
嶽暘師範學院學報(自然科學版)
악양사범학원학보(자연과학판)
JOURNAL OF YUEYANG NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2003年
1期
79-80
,共2页
真空镀膜%化学气相沉积%多功能
真空鍍膜%化學氣相沉積%多功能
진공도막%화학기상침적%다공능
设计并制作了一套具有真空蒸发沉积和化学气相沉积两种薄膜制备功能的系统.性能参数测试结果表明,该系统既能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积,又具有完好的真空镀膜功能,且该仪器简便直观,操作方便.
設計併製作瞭一套具有真空蒸髮沉積和化學氣相沉積兩種薄膜製備功能的繫統.性能參數測試結果錶明,該繫統既能進行金剛石、BCN材料等物質的化學氣相沉積,又具有完好的真空鍍膜功能,且該儀器簡便直觀,操作方便.
설계병제작료일투구유진공증발침적화화학기상침적량충박막제비공능적계통.성능삼수측시결과표명,해계통기능진행금강석、BCN재료등물질적화학기상침적,우구유완호적진공도막공능,차해의기간편직관,조작방편.
