北京师范大学学报(自然科学版)
北京師範大學學報(自然科學版)
북경사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF BEIJING NORMAL UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2003年
1期
54-57
,共4页
SIMOX材料%红外吸收光谱%厚度测量和分析
SIMOX材料%紅外吸收光譜%厚度測量和分析
SIMOX재료%홍외흡수광보%후도측량화분석
讨论了由国产LC-14型强流氧离子注入机制备的SIMOX(separation by implanted oxygen)材料薄膜厚度的测量和分析.采用红外吸收光谱测量SIMOX绝缘埋层的厚度,这是一种快速非破坏性测量方法.根据离子注入原理估算表面硅层的厚度,并分析了影响估算精度的各种因素.
討論瞭由國產LC-14型彊流氧離子註入機製備的SIMOX(separation by implanted oxygen)材料薄膜厚度的測量和分析.採用紅外吸收光譜測量SIMOX絕緣埋層的厚度,這是一種快速非破壞性測量方法.根據離子註入原理估算錶麵硅層的厚度,併分析瞭影響估算精度的各種因素.
토론료유국산LC-14형강류양리자주입궤제비적SIMOX(separation by implanted oxygen)재료박막후도적측량화분석.채용홍외흡수광보측량SIMOX절연매층적후도,저시일충쾌속비파배성측량방법.근거리자주입원리고산표면규층적후도,병분석료영향고산정도적각충인소.
