真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2003年
1期
9-11,15
,共4页
陆峰%徐成海%曹洪涛%裴志亮%孙超%闻立时
陸峰%徐成海%曹洪濤%裴誌亮%孫超%聞立時
륙봉%서성해%조홍도%배지량%손초%문립시
ZAO薄膜%X射线衍射%电阻率%透射率%反射率
ZAO薄膜%X射線衍射%電阻率%透射率%反射率
ZAO박막%X사선연사%전조솔%투사솔%반사솔
用直流反应磁控溅射法制备ZAO纳米薄膜,对这种薄膜进行了XRD分析,并对其光、电性能作了详细的研究.结果表明:ZAO薄膜的结构为标准的ZnO纤锌矿相,没有Al2O3相出现;其最低电阻率为4.5×10-4 Ω*cm、可见光透射率在80%以上,红外波段的反射率达70%以上,是优质的透明导电膜.
用直流反應磁控濺射法製備ZAO納米薄膜,對這種薄膜進行瞭XRD分析,併對其光、電性能作瞭詳細的研究.結果錶明:ZAO薄膜的結構為標準的ZnO纖鋅礦相,沒有Al2O3相齣現;其最低電阻率為4.5×10-4 Ω*cm、可見光透射率在80%以上,紅外波段的反射率達70%以上,是優質的透明導電膜.
용직류반응자공천사법제비ZAO납미박막,대저충박막진행료XRD분석,병대기광、전성능작료상세적연구.결과표명:ZAO박막적결구위표준적ZnO섬자광상,몰유Al2O3상출현;기최저전조솔위4.5×10-4 Ω*cm、가견광투사솔재80%이상,홍외파단적반사솔체70%이상,시우질적투명도전막.
