压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2002年
5期
389-391，403
,共4页
鲍军波%任天令%刘建设%刘理天%李志坚%李兴教
鮑軍波%任天令%劉建設%劉理天%李誌堅%李興教
포군파%임천령%류건설%류리천%리지견%리흥교
BST薄膜%Mn(Ⅱ)掺杂%溶胶-凝胶法%X-射线光电子能谱%I-V特性%介电性质
BST薄膜%Mn(Ⅱ)摻雜%溶膠-凝膠法%X-射線光電子能譜%I-V特性%介電性質
BST박막%Mn(Ⅱ)참잡%용효-응효법%X-사선광전자능보%I-V특성%개전성질
采用醋酸水溶液体系溶胶-凝胶法制备了未掺杂和掺Mn(Ⅱ)钛酸锶钡(BST)薄膜.用这种方法,可在BST体系中容易地加入任何浓度的金属离子,并可在室温下长期保存.根据X-射线衍射图(XRD)和表面形貌,薄膜的晶化温度取为650～750 °C.根据掺Mn BST的Mn2p3/2 X-射线光电子能谱(XPS)图中Mn2p3/2的峰位置,显示出薄膜中Mn的价态与加入的Mn(Ⅱ)离子价态相同.根据结合能的峰移,可以得到掺Mn BST的费密能级降低0.7 eV.I-V特性和介电特性测试表明,掺Mn(Ⅱ)BST的漏电流明显降低,相对的介电常数增加,损耗角正切降低0.01.根据漏电性质、介电常数和损耗的关系,2%(摩尔分数)的Mn掺杂的BST薄膜适合于低频小信号(2 V以下,约500 kHz)应用,而高浓度的Mn掺杂适合于大信号较高频率(1 MHz以上)应用.
採用醋痠水溶液體繫溶膠-凝膠法製備瞭未摻雜和摻Mn(Ⅱ)鈦痠鍶鋇(BST)薄膜.用這種方法,可在BST體繫中容易地加入任何濃度的金屬離子,併可在室溫下長期保存.根據X-射線衍射圖(XRD)和錶麵形貌,薄膜的晶化溫度取為650～750 °C.根據摻Mn BST的Mn2p3/2 X-射線光電子能譜(XPS)圖中Mn2p3/2的峰位置,顯示齣薄膜中Mn的價態與加入的Mn(Ⅱ)離子價態相同.根據結閤能的峰移,可以得到摻Mn BST的費密能級降低0.7 eV.I-V特性和介電特性測試錶明,摻Mn(Ⅱ)BST的漏電流明顯降低,相對的介電常數增加,損耗角正切降低0.01.根據漏電性質、介電常數和損耗的關繫,2%(摩爾分數)的Mn摻雜的BST薄膜適閤于低頻小信號(2 V以下,約500 kHz)應用,而高濃度的Mn摻雜適閤于大信號較高頻率(1 MHz以上)應用.
채용작산수용액체계용효-응효법제비료미참잡화참Mn(Ⅱ)태산송패(BST)박막.용저충방법,가재BST체계중용역지가입임하농도적금속리자,병가재실온하장기보존.근거X-사선연사도(XRD)화표면형모,박막적정화온도취위650～750 °C.근거참Mn BST적Mn2p3/2 X-사선광전자능보(XPS)도중Mn2p3/2적봉위치,현시출박막중Mn적개태여가입적Mn(Ⅱ)리자개태상동.근거결합능적봉이,가이득도참Mn BST적비밀능급강저0.7 eV.I-V특성화개전특성측시표명,참Mn(Ⅱ)BST적루전류명현강저,상대적개전상수증가,손모각정절강저0.01.근거루전성질、개전상수화손모적관계,2%(마이분수)적Mn참잡적BST박막괄합우저빈소신호(2 V이하,약500 kHz)응용,이고농도적Mn참잡괄합우대신호교고빈솔(1 MHz이상)응용.
