四川大学学报(自然科学版)
四川大學學報(自然科學版)
사천대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY
2002年
3期
492-494
,共3页
洪根深%廖勇明%廖伟%丁元力%邬瑞彬%刘洪军%龚敏
洪根深%廖勇明%廖偉%丁元力%鄔瑞彬%劉洪軍%龔敏
홍근심%료용명%료위%정원력%오서빈%류홍군%공민
6H-SiC%费米能级钉扎%欧姆接触
6H-SiC%費米能級釘扎%歐姆接觸
6H-SiC%비미능급정찰%구모접촉
作者通过氧化、刻蚀和沸水处理的方法,在n型6H-SiC的C面上制备了线性较好的欧姆接触.作者对C面和Si面的欧姆接触的退火特性进行了比较和研究;并对形成欧姆接触的物理机理进行了讨论,研究了这种欧姆接触在大密度电流下的特性.
作者通過氧化、刻蝕和沸水處理的方法,在n型6H-SiC的C麵上製備瞭線性較好的歐姆接觸.作者對C麵和Si麵的歐姆接觸的退火特性進行瞭比較和研究;併對形成歐姆接觸的物理機理進行瞭討論,研究瞭這種歐姆接觸在大密度電流下的特性.
작자통과양화、각식화비수처리적방법,재n형6H-SiC적C면상제비료선성교호적구모접촉.작자대C면화Si면적구모접촉적퇴화특성진행료비교화연구;병대형성구모접촉적물리궤리진행료토론,연구료저충구모접촉재대밀도전류하적특성.
