材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2002年
2期
113-120
,共8页
孙超%陈猛%裴志亮%曹鸿涛%黄荣芳%闻立时
孫超%陳猛%裴誌亮%曹鴻濤%黃榮芳%聞立時
손초%진맹%배지량%조홍도%황영방%문립시
透明导电氧化物%简并半导体%ZAO薄膜%散射机制%电学光学性质
透明導電氧化物%簡併半導體%ZAO薄膜%散射機製%電學光學性質
투명도전양화물%간병반도체%ZAO박막%산사궤제%전학광학성질
ZnO:Al(ZAO)是一种简并半导体氧化物薄膜材料,具有高的载流子浓度和大的光学禁带宽度.因而具有优异的电学和光学性能,极具应用价值.对于其能级高度简并的ZAO半导体薄膜材料.在较低的温度下.离化杂质散射占主导地位:在较高的温度下,晶格振动散射将成为主要的散射机制;晶界散射仅当晶粒尺寸较小(与电子的平均自由程相当)时才起作用.本文介绍了ZAO薄膜的制备方法、晶体结构特性、电学和光学性能以及载流子的散射机制.
ZnO:Al(ZAO)是一種簡併半導體氧化物薄膜材料,具有高的載流子濃度和大的光學禁帶寬度.因而具有優異的電學和光學性能,極具應用價值.對于其能級高度簡併的ZAO半導體薄膜材料.在較低的溫度下.離化雜質散射佔主導地位:在較高的溫度下,晶格振動散射將成為主要的散射機製;晶界散射僅噹晶粒呎吋較小(與電子的平均自由程相噹)時纔起作用.本文介紹瞭ZAO薄膜的製備方法、晶體結構特性、電學和光學性能以及載流子的散射機製.
ZnO:Al(ZAO)시일충간병반도체양화물박막재료,구유고적재류자농도화대적광학금대관도.인이구유우이적전학화광학성능,겁구응용개치.대우기능급고도간병적ZAO반도체박막재료.재교저적온도하.리화잡질산사점주도지위:재교고적온도하,정격진동산사장성위주요적산사궤제;정계산사부당정립척촌교소(여전자적평균자유정상당)시재기작용.본문개소료ZAO박막적제비방법、정체결구특성、전학화광학성능이급재류자적산사궤제.
