仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2002年
1期
49-52，55
,共5页
干涉仪%曲率半径%干涉图分析%CCD列阵
榦涉儀%麯率半徑%榦涉圖分析%CCD列陣
간섭의%곡솔반경%간섭도분석%CCD렬진
本文提出了一种新颖的利用激光偏振干涉体系产生非接触的牛顿环并与CCD图像处理技术相结合的测量方法.可测量的曲率半径为1～25m,具有很宽的测量范围;非接触测量不会损坏高精度表面;并可测试任意反射率的凹、凸球面,而测试体系结构却非常紧凑.干涉条纹经计算机数据处理可自动、快速获得测量结果.经误差分析,测量的相对误差ΔR/R优于0.3 %.
本文提齣瞭一種新穎的利用激光偏振榦涉體繫產生非接觸的牛頓環併與CCD圖像處理技術相結閤的測量方法.可測量的麯率半徑為1～25m,具有很寬的測量範圍;非接觸測量不會損壞高精度錶麵;併可測試任意反射率的凹、凸毬麵,而測試體繫結構卻非常緊湊.榦涉條紋經計算機數據處理可自動、快速穫得測量結果.經誤差分析,測量的相對誤差ΔR/R優于0.3 %.
본문제출료일충신영적이용격광편진간섭체계산생비접촉적우돈배병여CCD도상처리기술상결합적측량방법.가측량적곡솔반경위1～25m,구유흔관적측량범위;비접촉측량불회손배고정도표면;병가측시임의반사솔적요、철구면,이측시체계결구각비상긴주.간섭조문경계산궤수거처리가자동、쾌속획득측량결과.경오차분석,측량적상대오차ΔR/R우우0.3 %.
