CAJ | 학술논문

用电弧离子镀方法在高速钢、不锈钢与铜基体上沉积合成TiN／TiCN多层薄膜，在其他参数不变的情况下只改变负偏压，着重考察不同负偏压下薄膜的沉积温度、膜基结合强度、显微硬度以及表面形貌等，研究基体负偏压在沉积多层薄膜中所起的作用。结果表明，负偏压影响沉积温度，负偏压值越大，温度越高；负偏压值增大，表面形貌中的大颗粒数量减少，薄膜质量得到改善；负偏压在－300V左右时，膜基结合强度与硬度出现对应最佳性能点的峰值。
용전호리자도방법재고속강、불수강여동기체상침적합성TiN／TiCN다층박막，재기타삼수불변적정황하지개변부편압，착중고찰불동부편압하박막적침적온도、막기결합강도、현미경도이급표면형모등，연구기체부편압재침적다층박막중소기적작용。결과표명，부편압영향침적온도，부편압치월대，온도월고；부편압치증대，표면형모중적대과립수량감소，박막질량득도개선；부편압재－300V좌우시，막기결합강도여경도출현대응최가성능점적봉치。