武汉大学学报(理学版)
武漢大學學報(理學版)
무한대학학보(이학판)
JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY(Natural Science Edition)
2004年
1期
55-59
,共5页
曾志峰%于国萍%魏正和%何永华
曾誌峰%于國萍%魏正和%何永華
증지봉%우국평%위정화%하영화
射频溅射%SnO2纳米薄膜%表面形貌%气敏特性
射頻濺射%SnO2納米薄膜%錶麵形貌%氣敏特性
사빈천사%SnO2납미박막%표면형모%기민특성
采用射频反应溅射法在氧化处理后的单晶硅基片上制备SnO2纳米薄膜,并在薄膜中掺杂Sb和Pd用于改变薄膜的气敏特性.运用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的结构和表面形貌进行分析.结果表明,SnO2薄膜具有四方金红石结构,适量掺杂对SnO2薄膜结构无影响;薄膜晶粒粒径小于150 nm,且粒径随退火温度的升高而增大.采用Debye-Scherrer简化公式计算了薄膜晶粒粒径,分析了计算值与SEM观测值之间产生误差的原因.经700 ℃的温度退火后,掺原子比Pd为2%和Sb为2%的薄膜对酒精气体具有很高的灵敏度.
採用射頻反應濺射法在氧化處理後的單晶硅基片上製備SnO2納米薄膜,併在薄膜中摻雜Sb和Pd用于改變薄膜的氣敏特性.運用X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)對薄膜的結構和錶麵形貌進行分析.結果錶明,SnO2薄膜具有四方金紅石結構,適量摻雜對SnO2薄膜結構無影響;薄膜晶粒粒徑小于150 nm,且粒徑隨退火溫度的升高而增大.採用Debye-Scherrer簡化公式計算瞭薄膜晶粒粒徑,分析瞭計算值與SEM觀測值之間產生誤差的原因.經700 ℃的溫度退火後,摻原子比Pd為2%和Sb為2%的薄膜對酒精氣體具有很高的靈敏度.
채용사빈반응천사법재양화처리후적단정규기편상제비SnO2납미박막,병재박막중참잡Sb화Pd용우개변박막적기민특성.운용X사선연사(XRD)、소묘전경(SEM)대박막적결구화표면형모진행분석.결과표명,SnO2박막구유사방금홍석결구,괄량참잡대SnO2박막결구무영향;박막정립립경소우150 nm,차립경수퇴화온도적승고이증대.채용Debye-Scherrer간화공식계산료박막정립립경,분석료계산치여SEM관측치지간산생오차적원인.경700 ℃적온도퇴화후,참원자비Pd위2%화Sb위2%적박막대주정기체구유흔고적령민도.
