功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2004年
3期
338-340
,共3页
叶超%宁兆元%程珊华%辛煜%许圣华
葉超%寧兆元%程珊華%辛煜%許聖華
협초%저조원%정산화%신욱%허골화
氟化非晶碳(a-C:F)薄膜%介电色散%键结构
氟化非晶碳(a-C:F)薄膜%介電色散%鍵結構
불화비정탄(a-C:F)박막%개전색산%건결구
研究了电子回旋共振等离子体技术沉积的氟化非晶碳(a-C:F)薄膜的低频(102～106Hz)介电性质.发现a-C:F薄膜的低频介电色散随源气体CHF3/C6H6的比例、微波入射功率而改变.结合薄膜键结构的红外分析,发现薄膜中C=C相对含量的增大是导致低频介电色散增强的原因,而C-F相对含量的增大则使低频介电色散减弱.
研究瞭電子迴鏇共振等離子體技術沉積的氟化非晶碳(a-C:F)薄膜的低頻(102～106Hz)介電性質.髮現a-C:F薄膜的低頻介電色散隨源氣體CHF3/C6H6的比例、微波入射功率而改變.結閤薄膜鍵結構的紅外分析,髮現薄膜中C=C相對含量的增大是導緻低頻介電色散增彊的原因,而C-F相對含量的增大則使低頻介電色散減弱.
연구료전자회선공진등리자체기술침적적불화비정탄(a-C:F)박막적저빈(102～106Hz)개전성질.발현a-C:F박막적저빈개전색산수원기체CHF3/C6H6적비례、미파입사공솔이개변.결합박막건결구적홍외분석,발현박막중C=C상대함량적증대시도치저빈개전색산증강적원인,이C-F상대함량적증대칙사저빈개전색산감약.
