红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2006年
2期
183-186,215
,共5页
卜轶坤%赵丽%郑权%钱龙生
蔔軼坤%趙麗%鄭權%錢龍生
복질곤%조려%정권%전룡생
高反射膜%激光损伤阈值%电场分布
高反射膜%激光損傷閾值%電場分佈
고반사막%격광손상역치%전장분포
为了提高激光反射膜的光谱特性和抗激光损伤特性,提出了一种高损伤阈值激光反射镜的设计方法:采用HfO2-Nb2O5-SiO2多材料混合膜系结构,利用Nb2O5-SiO2折射率差值大的特点,在较少的膜层数下达到高反射率要求;利用HfO2-SiO2组合具有高的抗激光损伤特点,在Nb2O5-SiO2膜堆的最外部分叠加HfO2-SiO2膜堆,取长补短,做到采用较少的膜层数,达到高反射率要求,同时提高薄膜的抗激光损伤能力.该方法能灵活有效地按照不同膜系要求进行材料组合,具有很高的实用价值,达到工程最优化设计.
為瞭提高激光反射膜的光譜特性和抗激光損傷特性,提齣瞭一種高損傷閾值激光反射鏡的設計方法:採用HfO2-Nb2O5-SiO2多材料混閤膜繫結構,利用Nb2O5-SiO2摺射率差值大的特點,在較少的膜層數下達到高反射率要求;利用HfO2-SiO2組閤具有高的抗激光損傷特點,在Nb2O5-SiO2膜堆的最外部分疊加HfO2-SiO2膜堆,取長補短,做到採用較少的膜層數,達到高反射率要求,同時提高薄膜的抗激光損傷能力.該方法能靈活有效地按照不同膜繫要求進行材料組閤,具有很高的實用價值,達到工程最優化設計.
위료제고격광반사막적광보특성화항격광손상특성,제출료일충고손상역치격광반사경적설계방법:채용HfO2-Nb2O5-SiO2다재료혼합막계결구,이용Nb2O5-SiO2절사솔차치대적특점,재교소적막층수하체도고반사솔요구;이용HfO2-SiO2조합구유고적항격광손상특점,재Nb2O5-SiO2막퇴적최외부분첩가HfO2-SiO2막퇴,취장보단,주도채용교소적막층수,체도고반사솔요구,동시제고박막적항격광손상능력.해방법능령활유효지안조불동막계요구진행재료조합,구유흔고적실용개치,체도공정최우화설계.
