真空
真空
진공
VACUUM
2007年
2期
22-26
,共5页
佟洪波%巴德纯%肖金泉%闻立时
佟洪波%巴德純%肖金泉%聞立時
동홍파%파덕순%초금천%문립시
AlN薄膜%发光%TFEL器件
AlN薄膜%髮光%TFEL器件
AlN박막%발광%TFEL기건
介绍了AlN薄膜物理性质及制备方法;综述了AlN薄膜作为薄膜电致发光(TFEL)器件发光层的研究现状;对AlN薄膜发光性能的应用前景做了展望.
介紹瞭AlN薄膜物理性質及製備方法;綜述瞭AlN薄膜作為薄膜電緻髮光(TFEL)器件髮光層的研究現狀;對AlN薄膜髮光性能的應用前景做瞭展望.
개소료AlN박막물이성질급제비방법;종술료AlN박막작위박막전치발광(TFEL)기건발광층적연구현상;대AlN박막발광성능적응용전경주료전망.
