广东化工
廣東化工
엄동화공
GUANGDONG CHEMICAL INDUSTRY
2008年
2期
27-29,34
,共4页
集成铁电器件%铁电薄膜%制备技术%研究进展
集成鐵電器件%鐵電薄膜%製備技術%研究進展
집성철전기건%철전박막%제비기술%연구진전
铁电薄膜材料、集成铁电器件以及与之相应的物理问题,引起物理学、材料科学与工程、微电子与光电子学等领域的科学技术人员和学者的关注.文章介绍了铁电薄膜新研究进展,对目前最常用的几种主要制备方法进行了评述,重点分析了铁电薄膜不同制备方法的优缺点.并对未来的可能进展作了简单的描述,指出了目前关于铁电薄膜研究中的一些问题,并提出一些解决问题的办法.
鐵電薄膜材料、集成鐵電器件以及與之相應的物理問題,引起物理學、材料科學與工程、微電子與光電子學等領域的科學技術人員和學者的關註.文章介紹瞭鐵電薄膜新研究進展,對目前最常用的幾種主要製備方法進行瞭評述,重點分析瞭鐵電薄膜不同製備方法的優缺點.併對未來的可能進展作瞭簡單的描述,指齣瞭目前關于鐵電薄膜研究中的一些問題,併提齣一些解決問題的辦法.
철전박막재료、집성철전기건이급여지상응적물리문제,인기물이학、재료과학여공정、미전자여광전자학등영역적과학기술인원화학자적관주.문장개소료철전박막신연구진전,대목전최상용적궤충주요제비방법진행료평술,중점분석료철전박막불동제비방법적우결점.병대미래적가능진전작료간단적묘술,지출료목전관우철전박막연구중적일사문제,병제출일사해결문제적판법.
