真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
2期
221-224
,共4页
孙宝玉%巴德纯%段永利%房也%杨彬%岳向吉
孫寶玉%巴德純%段永利%房也%楊彬%嶽嚮吉
손보옥%파덕순%단영리%방야%양빈%악향길
NdFeB%磁控溅射%Al薄膜%真空热处理%耐蚀性能
NdFeB%磁控濺射%Al薄膜%真空熱處理%耐蝕性能
NdFeB%자공천사%Al박막%진공열처리%내식성능
用直流磁控溅射工艺,在NdFeB磁体表面镀Al薄膜,并对镀Al薄膜的磁体进行真空热处理,研究工艺、温度和时间对镀层成分、组织和性能的影响.结果表明:NdFeB镀Al薄膜磁体经650℃,10min热处理后,综合性能最佳,Al膜层与NdFeB磁体在界面产生冶金结合,增强了界面结合力,又保持了Al膜层的完整性、连续性和良好耐蚀性.通过对样品微组织的观察发现,当热处理温度高于650℃时,Al膜层与基体之间产生互扩散,形成新的RFeAlB相,随着温度继续升高,新相的长大,破坏了Al膜层的完整性和连续性,产生许多微缺陷和裂纹,耐蚀性降低.
用直流磁控濺射工藝,在NdFeB磁體錶麵鍍Al薄膜,併對鍍Al薄膜的磁體進行真空熱處理,研究工藝、溫度和時間對鍍層成分、組織和性能的影響.結果錶明:NdFeB鍍Al薄膜磁體經650℃,10min熱處理後,綜閤性能最佳,Al膜層與NdFeB磁體在界麵產生冶金結閤,增彊瞭界麵結閤力,又保持瞭Al膜層的完整性、連續性和良好耐蝕性.通過對樣品微組織的觀察髮現,噹熱處理溫度高于650℃時,Al膜層與基體之間產生互擴散,形成新的RFeAlB相,隨著溫度繼續升高,新相的長大,破壞瞭Al膜層的完整性和連續性,產生許多微缺陷和裂紋,耐蝕性降低.
용직류자공천사공예,재NdFeB자체표면도Al박막,병대도Al박막적자체진행진공열처리,연구공예、온도화시간대도층성분、조직화성능적영향.결과표명:NdFeB도Al박막자체경650℃,10min열처리후,종합성능최가,Al막층여NdFeB자체재계면산생야금결합,증강료계면결합력,우보지료Al막층적완정성、련속성화량호내식성.통과대양품미조직적관찰발현,당열처리온도고우650℃시,Al막층여기체지간산생호확산,형성신적RFeAlB상,수착온도계속승고,신상적장대,파배료Al막층적완정성화련속성,산생허다미결함화렬문,내식성강저.
