材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
19期
64-67
,共4页
鲁俊雀%王秀峰%伍媛婷%许雅琴
魯俊雀%王秀峰%伍媛婷%許雅琴
로준작%왕수봉%오원정%허아금
氧化锌薄膜%ZnO薄膜%气相法
氧化鋅薄膜%ZnO薄膜%氣相法
양화자박막%ZnO박막%기상법
ZnO薄膜具有压电、光电、压敏、气敏、发光等多种特性,应用十分广泛.介绍了ZnO薄膜气相法制备原理中的各类主要方法,包括脉冲激光沉积、磁控溅射、分子束外延、金属有机化合物化学气相沉积、单源化学气相沉积和等离子体增强化学气相沉积等技术；分析了这些方法的优缺点；展望了ZnO薄膜今后的研究方向.
ZnO薄膜具有壓電、光電、壓敏、氣敏、髮光等多種特性,應用十分廣汎.介紹瞭ZnO薄膜氣相法製備原理中的各類主要方法,包括脈遲激光沉積、磁控濺射、分子束外延、金屬有機化閤物化學氣相沉積、單源化學氣相沉積和等離子體增彊化學氣相沉積等技術；分析瞭這些方法的優缺點；展望瞭ZnO薄膜今後的研究方嚮.
ZnO박막구유압전、광전、압민、기민、발광등다충특성,응용십분엄범.개소료ZnO박막기상법제비원리중적각류주요방법,포괄맥충격광침적、자공천사、분자속외연、금속유궤화합물화학기상침적、단원화학기상침적화등리자체증강화학기상침적등기술；분석료저사방법적우결점；전망료ZnO박막금후적연구방향.
